2023年8月10日，在第11屆(2023年)中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會半導體設備年會暨產(chǎn)業(yè)鏈合作論壇上，中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會常務副秘書長金存忠回顧和展望了中國半導體設備的發(fā)展。

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2022年中國半導體設備行業(yè)經(jīng)濟運行基本情況

面對新疫情、世界經(jīng)濟衰退和外部壓力加大的三重沖擊，中國半導體設備行業(yè)在國內(nèi)市場的推動下，保持了快速發(fā)展的態(tài)勢。（注：本文中半導體設備設備包括、集成電路制造設備，LED制造設備，太陽能電池片制造設備，其它半導體器件制造設備）

根據(jù)中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會對中國大陸77家主要半導體設備制造公司（年銷售收入1000萬元以上）的統(tǒng)計，2022年中國半導體設備的銷售收入完成了593.0億元，同比增長53.6%；半導體設備出口交貨值70.8億元，同比增長119.2%；總利潤達到149.5億元，同比增長66.1%。

從2019年到2022年，中國半導體設備銷售收入從175.1億增長到593億人民幣，年均增長率達到了48.3%。

細分賽道來看，集成電路設備銷售收入2022年達到319億元，同比增長86.1%，是所有賽道中增長速度最快，也是實現(xiàn)銷售收入最多的市場；同時集成電路設備也是出口交貨值最大的賽道。

金存忠介紹到，太陽能設備的國產(chǎn)化率已經(jīng)達到90%，產(chǎn)業(yè)鏈的主要核心設備都已經(jīng)實現(xiàn)國產(chǎn)化。如果太陽能設備能夠出口，這一賽道能夠?qū)崿F(xiàn)更快的發(fā)展。tMini LED的關鍵設備已經(jīng)解決了（MOCV），但是Micro LED領域的設備還有待發(fā)展。此外，第三代半導體相關設備的市場還處于初步發(fā)展的階段。

整體來看集成電路設備銷售收入已經(jīng)占半導體設備收入的54%，在2021年的時候，光伏設備和集成電路設備銷售收入接近，到了2022年集成電路設備就超過了光伏設備。一方面是集成電路設備企業(yè)的快速發(fā)展；另一方面原因是由于政策限制，一些國家不可以購買中國生產(chǎn)的太陽能光伏設備，導致這一市場發(fā)展受限。這再次反映了政策對半導體設備的影響。

2019年-2022年各類半導體設備銷售收入

2022年中國半導體設備銷售收入前十家單位銷售收入438.4億元，占77家半導體設備制造商銷售收入總額的73.9%，相比2021年中國半導體設備前十家單位銷售收入增長48.4%。2022年半導體設備銷售收入前十家單位入圍銷售收入為13.6億元，比2021年入圍前十名增長4.34億元。2022年新進入前十名的企業(yè)是拓荊科技股份有限公司和沈陽芯源微電子設備股份有限公司。同時，金存忠預測2023年半導體設備的入圍銷售收入有望增長至17億。

2022年國產(chǎn)半導體設備市場占有率保持增長。根據(jù)SEMI公布的資料顯示，2022年中國大陸進口半導體設備282.7億美元（含二手設備），成為全球最大的半導體設備市場。按照銷售額計算（美元按1：7折算），2022年國產(chǎn)半導體設備在中國大陸的市場占有率為23%，比2021年 (19.6%）增長3.4個百分點。

2022年由于國產(chǎn)設備市場占有率提高，13類主要半導體設備中國大陸進口額同比減少8.1%。2022年位于進口額前三位的是等離子體干法刻蝕機、化學氣相沉積設備(CVD)、氧化、擴散、退火及其它熱處理爐，2022年進口額分別減少12.7%、11.9%和9.6%。封裝設備中引線鍵合機和塑封壓機分別減少42%和22%。

根據(jù)海關數(shù)據(jù)，中國大陸進口設備中光刻機排名第四。值得注意的是，根據(jù)這一數(shù)據(jù)中國上半年進口光刻機臺數(shù)大概為20臺，與一部分媒體炒作“第二季度從ASML進口27臺光刻機”并不相符?？梢钥吹焦饪虣C、PVD、離子注入機的進口金額仍在增長，說明在這些領域國產(chǎn)企業(yè)還相對薄弱。

我國集成電路晶圓制造設備進入高速發(fā)展階段。伴隨國內(nèi)集成電路晶圓廠高增速持續(xù)擴產(chǎn)，集成電路設備產(chǎn)業(yè)近年來迎來高速發(fā)展階段。集成電路設備市場高增長：一是由于中國大陸集成電路市場優(yōu)勢明顯;二是國產(chǎn)等離子干法刻蝕、化學氣相薄膜沉積、氧化擴散退火熱處理、濕法清洗、化學機械拋光等關鍵設備技術上不斷突破，覆蓋了更多應用；第三是國產(chǎn)設備驗證穩(wěn)步推進，推動了國產(chǎn)設備產(chǎn)業(yè)化進程。

26項半導體設備創(chuàng)新產(chǎn)品進入量產(chǎn)生產(chǎn)線

由于國外政策對國內(nèi)半導體設備的打壓，下游用戶希望用上國產(chǎn)設備。這種需求推動了國產(chǎn)設備在國內(nèi)產(chǎn)線上的驗證。在現(xiàn)在的背景下，即使能買到國外的設備，之后的售后也有可能成為一個問題。積塔半導體就是一個例子，積塔半導體先用5000片的試驗線測試，測試通過后就進行了12英寸月產(chǎn)5萬片的現(xiàn)金投資，這足以反映國產(chǎn)半導體公司對國產(chǎn)設備的開放態(tài)度。

金存忠還表示，核心部件替代進口加快了設備產(chǎn)業(yè)化進程。2022年半導體設備核心部件機械手、溫控器、射頻電源、低溫真空泵、干泵等已得到半導體設備制造商驗證，實現(xiàn)進口替代，設備核心部件國內(nèi)供應鏈正在形成并得到快速發(fā)展。

02

半導體設備市場“投資有風險”

金存忠指出當前國產(chǎn)半導體設備還存在著一些問題。

第一，當前關鍵的設備現(xiàn)在國產(chǎn)化率還比較低，特別是光刻機?，F(xiàn)在的光刻機在量產(chǎn)上沒有得到驗證，目前國產(chǎn)制造商能夠制造的是先進封裝和LED領域的光刻機。光刻機的難點不僅在制造出來，還要保證設備的效率和良率。只有99.9%以上的良率，才有可能保證98%的成品率；如果99%的良率，可能導致成品率只有八成。

有一些設備還是市場占有率比較低，可能低于5%。以量測設備為例，雖然有很多公司在做，但是量很少，在整個市場的占比也很小。國產(chǎn)CVD在這兩年發(fā)展很快，特別是拓荊，但是整體數(shù)量還是較少。

第二，集成電路關鍵設備進口零部件占比較大。目前集成電路晶圓制造關鍵設備進口零部件金額約占到設備價格的40%左右，占比較大，影響了國產(chǎn)設備在國內(nèi)市場競爭力。目前這些零部件國內(nèi)制造商大多已有安排，有的已進入驗證和小批量試用階段。

雖然國內(nèi)半導體設備零部件企業(yè)已經(jīng)解決了一些高端產(chǎn)品，但仍有一些產(chǎn)品需要進口。例如，高精密的流量計、靜電卡盤、真空閥門等。這些產(chǎn)品的價值很高，進口的量占的很比重很大。據(jù)金存忠介紹，國內(nèi)一家半導體的設備的龍頭企業(yè)，去年它進口的零部件占到整個設備的金額的40%，有的國產(chǎn)半導體設備公司的零部件進口額可能達到60%。這樣的數(shù)字意味著，一旦半導體設備零部件面臨管制，會有很大問題。

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展望國內(nèi)半導體設備的2023

對于國內(nèi)半導體設備的2023年，金存忠給出了三點展望。

第一，2023年國產(chǎn)半導體設備銷售有望繼續(xù)保持增長。增長的動力包括：1.集成電路設備出口管制給國產(chǎn)集成電路設備帶來發(fā)展機遇，國內(nèi)投資的集成電路晶圓制造廠為保證自身供應鏈安全，加快了國產(chǎn)設備驗證和采購的步伐；2. ?國內(nèi)成熟工藝晶圓集成電路、先進封裝集成電路、高效太陽能電池、mini LED和化合物半導體器件、太陽能電池市場持續(xù)發(fā)展，推動了國內(nèi)半導體設備的市場；3. 一大批自主研發(fā)的關鍵半導體設備和核心部件進入量產(chǎn)生產(chǎn)線，替代進口，提高了國產(chǎn)市場競爭力。

第二，2023年中國大陸半導體設備進口繼續(xù)減少。根據(jù)海關統(tǒng)計數(shù)據(jù)，2023年1-6月中國大陸13類主要半導體設備進口額為72.94億美元，同比比減少13.3%。其中除分步重復光刻機、集成電路工廠專用自動搬運機器人、研磨機和切割設備外，其它設備全部負增長，等離子體干法刻蝕機上半年進口額同比減少29.6%。預計2023年中國大陸半導體設備進口額將繼續(xù)減少。

第三，主要半導體設備制造商訂單穩(wěn)步增長。預計2023年國產(chǎn)半導體設備銷售收入增長38%左右，達到817億元。其中：集成電路設備預計增長40%，達到450億元；太陽能電池片設備預計增長35%，達到310億元；LED設備預計增長20%，達到37億元；分立和其它半導體器件預計增長33%，達到20億元。

主要半導體設備制造商訂單穩(wěn)步增長