盛美上海于2月25日在官方微信宣布，公司獲得來自歐洲一家全球性半導體制造商的首個12腔單片SAPS兆聲波清洗設備訂單。該設備配置了公司自主研發(fā)的空間交變相位移 (SAPS)技術，預計將于第四季度交付至該客戶的歐洲工廠。

盛美上海介紹，與傳統(tǒng)的兆聲波晶圓清洗系統(tǒng)中使用的固定式兆聲波發(fā)生器不同，使用SAPS技術后，晶圓旋轉(zhuǎn)時，通過控制兆聲波發(fā)生器與晶圓之間的相對運動，即使晶圓有翹曲，也能使晶圓上的所有點都獲得均勻的兆聲波能量。SAPS工藝的清洗效率比傳統(tǒng)兆聲波清洗工藝高，不會造成額外的材料損耗，同時還能減少晶圓表面的損傷。SAPS工藝清洗效果更加徹底、全面，并且已在1xnm及以下DRAM制造上獲得驗證。

作為一家為半導體前道和先進晶圓級封裝應用提供晶圓工藝解決方案的領先供應商，盛美上海從事單晶圓及槽式濕法清洗設備、電鍍設備、無應力拋光設備、立式爐管設備、前道涂膠顯影設備和PECVD設備的開發(fā)、制造和銷售，并致力于為半導體制造商提供定制化、高性能、低消耗的工藝解決方案。

盛美上海表示，本次獲得該設備的歐洲首單是對公司技術實力以及銷售團隊努力與付出的有力證明，并有望為公司帶來該客戶的重復訂單以及與該地區(qū)其他重點客戶新的合作機會。